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김봉철 (한국산업기술시험원) 박찬규 (한국산업기술시험원)
저널정보
한국신뢰성학회 한국신뢰성학회 학술대회논문집 한국신뢰성학회 2021 추계학술대회 [초록집]
발행연도
2021.11
수록면
8 - 8 (1page)

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최근 일본의 수출규제와 미중 무역분쟁과 같은 국제이슈에 따라 경제 안보차원에서 주요 산업의 소재, 부품 및 장비의 국산화 추진이 활발히 이루어지고 있다. 이 중 반도체 생산은 국내 주력산업 중 하나로 미세한 불순물에도 수율에 큰 영향을 주어 고순도 공업용수의 사용이 필수적이나, 공업용수 제조에 사용되는 소재 및 공정 대부분이 일본을 포함한 해외 제품에 의존하고 있다. 따라서 고순도 공업용수 제조에 이용되는 주요 장비 ... 전체 초록 보기

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