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자료유형
학술저널
저자정보
정대윤 (조선대학교) 조수경 (국방과학연구소(대전)) 문태호 (단국대학교) 손홍래 (조선대학교)
저널정보
대한금속·재료학회 Electronic Materials Letters Electronic Materials Letters Vol.12 No.1
발행연도
2016.1
수록면
17 - 23 (7page)

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We report the synthesis of porous silicon nanowires through the metalassistedchemical etching of porous silicon in a solution of hydrofluoricacid and hydrogen peroxide. The morphology of porous siliconnanowires was characterized by scanning electron microscopy andtransmission electron microscopy. The etch rate of the porous siliconnanowires was faster than that of silicon nanowires, but slower than thatof porous silicon. The porous silicon nanowires distributed uniformly onthe entire porous silicon layer and the tips of the porous siliconnanowires congregated together. The single crystalline and sponge-likeporous structure with the pore diameters of less than 5 nm wasconfirmed for the porous silicon nanowires.

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Y. Huang / 2001 / Science 294:1313 google schola T. Moon / 2011 / ACS Appl. Mater. Interfaces 3:3957 google schola T. Moon / 2012 / IEEE T. Electron Dev 59:3288 google schola A. I. Hochbaum / 2008 / Nature 451:163 google schola B. Tian / 2007 / Nature 449:885 google schola

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