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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2021.11
- 수록면
- 226 - 226 (1page)
이용수
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2022
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프로브 카드 (Probe card)는 반도체 웨이퍼 (Wafer) 상에 각각의 반도체 소자 (Device, Chip)의 회로를 검사하는 부품으로, 반도체 칩과 프로브 카드 핀 (Pin)의 접촉으로 인한 전기적 신호에 따라 불량 유무를 검사하는 역할을 한다. 현재 반도체 회로 미세화에 따라 웨이퍼 당 칩 개수가 증가 함에 따라 프로브 카드가 동시에 측정해야 하는 칩의 Pad 면적은 감소하고, Probe Pin 수는 증가하고 있다. 또한 자동차용 반도체의 경우, 고온 동작과 장기 신뢰성이 요구됨에 따라 고내열 특성이 요구된다. 현재 프로브카드는 기판의 열적 스트레스를 감소시키고, 다수의 Pin 위치 정밀도 제어를 위해선택적 솔더링 (Selective soldering) 공정 중 하나인 레이저 솔더링 (Laser soldering) 공정을 적용하고 있다.
따라서 본 연구에서는 ... 전체 초록 보기
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