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Currently, as a TCO material, In doped SnO₂ (ITO), which has a low resistivity of less than 10<SUP>-4</SUP> Ω·cm, and high transmittance in the visible region, is most widely used. However, due to the rarity of In, a component of ITO, the material is expensive and thermally and chemically unstable in plasma conditions. Therefore, there is a need for research on TCO materials to replace ITO. Accordingly, Zinc oxide (ZnO) based transparent conducting oxides (TCO) thin films, are used in many applications su ... 전체 초록 보기
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