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저자정보
조성일 (강원대학교) 정구환 (강원대학교)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2021년도 한국표면공학회 추계학술대회
발행연도
2021.12
수록면
118 - 118 (1page)

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양이온과 전자로 구성된 플라즈마는 금속 혹은 재료 표면에 화학 작용기를 형성하거나 재료의 물성을 변화시킬 수 있어, 반도체나 바이오, 환경 등 다양한 분야에서 사용되고 있다. 이처럼 사용 목적에 적합한 특성의 플라즈마를 발생시키기 위해서는 정밀한 진단을 통한 플라즈마의 전위, 전자온도, 전자밀도 및 이온밀도 등 플라즈마 제 변수의 확인이 반드시 요구된다. 플라즈마의 진단 방법으로는 다양한 방법이 개발되었으나, 정전식 탐침(electrostatic probe)법과 광학적 진단(optical diagnosis)법이 보편적으로 널리 사용중이다. 하지만 정전식 탐침법은 탐침이 플라즈마에 노출되어 탐침의 손상 및 오염의 가능성을 갖고 있다. 반면, 플라즈마에서 발생되는 및의 스펙트럼을 이용하는 광학적 진단(optical diagnosis)법은 비접촉 진단법이라는 장점이 있다.
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