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조은환 (연세대학교) 강윤성 (연세대학교) 심상준 (연세대학교) 이호준 (연세대학교) 김종백 (연세대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2021년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2021.11
수록면
90 - 90 (1page)

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전도성 물질의 접촉과 분리로 회로의 단락을 결정 짓는 마이크로 기계식 스위치는 0 에 가까운 누설전류와 이론적으로 무한한 On/Off 비와 같은 이상적인 스위칭 성능으로 많은 주목을 받고 있다. 또한, 높은 내열성을 가진 도체를 이용할 경우, CMOS Transistor 의 구동이 어려운 150℃ 이상의 온도에서도 작동 가능함을 보이며, 고온에서 구동 가능한 집적회로용 차세대 소자로 고려되어 현재까지 많은 연구들이 진행되어 왔다. 그러나 고온에서 발생하는 도체 표면의 연화 현상은 접촉 시 계면에서 영구적인 점착을 발생시키며, 이는 마이크로 기계식 스위치의 작동 온도 제한하고 낮은 접촉수명을 가져온다. 본 연구에서는 극한의 고온환경에서도 높은 접촉 신뢰성을 가지는 탄소나노튜브 다발 기반의 마이크로 기계식 스위치와 이를 ... 전체 초록 보기

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