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이주현 (숭실대학교) 양찬영 (숭실대학교) 김보현 (숭실대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2021년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2021.11
수록면
143 - 143 (1page)

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실리콘 카바이드(Silicon Carbide, SiC)는 화학적으로 안정적이고 고내열성을 가지고 있으며 열충격에 강하다는 특성을 가지고 있다. 고온, 고전압 환경에서 뛰어난 특성을 가지고 있는 실리콘 카바이드는 고출력 전력반도체, CVD 공정, 섬유 등에 사용되고 있다. 여러 반도체, 우주 항공 분야 등에 사용됨에 따라 실리콘 카바이드에 미세 구멍 또는 홈을 가공하는 것에 대한 요구가 커지고 있다. 미세 가공을 하는 방법으로는 기계적 가공, 방전 가공, 레이저 가공 등이 있으며 본 연구에서는 방전 가공(Electrical Discharge Machining, EDM)을 이용하여 실리콘 카바이드에 구멍과 홈을 가공하였다. 방전 가공은 경도가 높은 실리콘 카바이드와 같은 재료에 미세 가공을 ... 전체 초록 보기
#SiC #PCD #Micro EDM #Hole #Groove

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