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학술대회자료
저자정보
J. Jung (아주대학교) K. T. Yoon (아주대학교) Y. M. Choi (아주대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2021년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2021.11
수록면
273 - 273 (1page)

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The magnetic spring has been used as a gravity compensator in ultra-precision positioning system or vibration isolator system for semiconductor process, which has a simple structure and can be used in vacuum without mechanical contact. The Halbach array magnetic spring, designed to have quasi-zero stiffness, generates a large levitation force for its volume, and improves control and isolation performance by having a resonance-free characteristic. In many previous studies, the magnetic springs were modeled using surface current model. However, there exists an error in estimating stiffness when compared with finite element model due to inconsideration of permanent magnet reluctance. Furthermore, the geometric tolerances ... 전체 초록 보기
#Gravity compensator #Halbach array magnetic spring #Magnetic model #Manufacturing tolerance #Tolerance analysis

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