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박재현 (한국생산기술연구원) 백지홍 (한국생산기술연구원) 안일균 (한국산업기술대학교) 김기현 (한국산업기술대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2021년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2021.11
수록면
339 - 339 (1page)

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반도체/디스플레이 산업은 공정상의 회로와 소자의 고집적도로 인해 높은 정밀도의 장비를 요구하고 공정 후 검사를 위해서 공정상의 정밀도보다 더 높은 측정 정밀도를 요구하고 있다. 공정 및 검사 장비의 높은 정밀도를 구현하기 위해서는 장비의 주변 환경 제어가 필수적이며 진동 환경조건이 매우 엄격하다. 제진 시스템은 반도체 및 디스플레이 장비에서 장비의 진동 및 주변 환경의 진동과 같은 외란의 영향을 최소화하기 위한 시스템이다. 본 연구에서는 제진 시스템에 적용하기 위한 패시브 모듈을 제안하였다. 패시브 모듈은 탄성체로 구성되어 고주파수 대역의 진동을 제진하기 위한 제진 시스템의 ... 전체 초록 보기
#Vibration isolation system #Passive module #Coil spring #Leaf spring

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