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저자정보
안다훈 (서울과학기술대학교) 윤혜은 (공주대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2021년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2021.11
수록면
340 - 340 (1page)

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모놀리식 유연기구는 재료의 탄성 변형을 이용하여 조립을 최소화하며 백래시와 마찰이 없다. 이러한 특성은 정밀모션을 부드럽게 안내할 수 있는 가이드 메커니즘에 적합하여 초정밀 위치 결정 스테이지에 모션 가이드로서 널리 사용될 수 있도록 한다. 특히 3 자유도(팁-틸트-피스톤) 면 외 방향 운동의 안내와 더 나은 정밀도를 위해 기생 모션을 제거하기 위한 다수 개의 접힌 빔 유연기구를 대칭적으로 활용하는 구조가 일반적으로 사용되고 있다. 하지만 대칭적인 구조에 의한 기생 모션 감소에도 불구하고 기존의 접힌 빔 유연기구는 회전 중심과 빔이 동일선 상에 정렬되지 않은 ... 전체 초록 보기
#Aligned folded beam #Compliance mechanism #Stiffness #Precision motion #Finite element method

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정렬형 접힌 빔 유연기구를 사용한 정밀 위치 결정 스테이지의 강성 해석
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