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김재현 (연세대학교) 정상원 (연세대학교) 권윤식 (연세대학교) 윤준영 (연세대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2021년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2021.11
수록면
370 - 370 (1page)

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Permanent Magnet Linear Synchronous Motor (PMLSM)는 반도체 생산 장비를 비롯한 다양한 제조 및 정밀 가공 시스템에 적용되고 있다. 리니어 모터의 고정자와 이동자에 존재하는 끝단에 의해 공극의 양 끝에서 자기장은 비주기적인 분포를 보이게 되며, 이는 곧 모터 힘의 파동을 만들어낸다. 이러한 힘의 파동에 의한 원치 않는 진동은 서보 시스템의 위치 제어 정확도를 낮추는 주범이 되므로 정밀 제어의 성능 향상을 위해서는 설계 단계에서부터 끝단 현상이 반드시 고려되어야만 한다. 맥스웰 방정식을 기반으로 하여 직접 자기장 해(Magnetic Field Solution)를 구하는 기존의 경계층 모델의 경우, 유한요소해석과 비교하여 해석시간이 짧다는 장점이 있지만, 푸리에 급수 전개를 이용한 풀이과정에서 모터의 기본 유닛이 양 끝으로 무한히 펼쳐져 있다는 가정으로 인해 끝 ... 전체 초록 보기

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