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H. Cho (한국기계연구원) J. Kwon (한국생산기술연구원) W. S. Lee (한국기계연구원) W. S. Chang (한국기계연구원) S. H. Ko (서울대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2021년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2021.11
수록면
399 - 399 (1page)

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A Direct laser write (DLW) process has broadened a novel patterning method for advanced electronic device fabrication. The DLW process bases on the photo-thermal-chemical reaction and features such as high precision, fast processing, and room temperature processability without inert gas. Before, the process scalability of the interaction between the nanomaterials and laser has been examined on the various conductive metal nanomaterials such as gold, silver, and copper. Although the direct laser writing process has shown many achievements on the metal nanomaterials, it has rarely bee^_@span style=color:#999999 ^_# ... ^_@/span^_#^_@a href=javascript:; onclick=onClickReadNode('NODE11040688');fn_statistics('Z354','null','null'); style='color:#999999;font-size:14px;text-decoration:underline;' ^_#전체 초록 보기^_@/a^_#
#Tungsten oxide (WO₃) #Electrochromic device #Photo-thermal-chemical reaction #Direct laser write

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