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박준성 (한국에너지기술연구원) 민관홍 (한국에너지기술연구원) 강민구 (한국에너지기술연구원) 박성은 (한국에너지기술연구원) 이상희 (한국에너지기술연구원) 이태경 (경상국립대학교) 정경택 (한국에너지기술연구원) 이해석 (고려대학교) 송희은 (한국에너지기술연구원)
저널정보
한국태양에너지학회 한국태양에너지학회 학술대회논문집 한국태양에너지학회 2022년도 춘계학술발표대회 [초록집]
발행연도
2022.4
수록면
269 - 269 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2022

건식 산화 공정이 보른 에미터 도핑 프로파일에 미치는 영향 연구
박준성 ,  조윤애 ,  강민구 외 9명 한국태양에너지학회 학술대회논문집 2022.10 학술대회자료
건식 산화 시간 조건에 따른 보른 에미터 도핑 프로파일의 변화
박준성 ,  민관홍 ,  강민구 외 6명 한국태양에너지학회 학술대회논문집 2022.04 학술대회자료

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#보른 에미터(Boron emitter) #건식 산화(Dry oxidation)

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BBr₃ 확산 공정에서 Dry Oxidation이 Boron Emitter 도핑 프로파일에 미치는 영향
박준성 ,  민관홍 ,  강민구 외 6명 한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집 2022 .04

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