메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
Hyunse Kim (Korea Institute of Machinery and Materials) Euisu Lim (Korea Institute of Machinery and Materials) Yanglae Lee (Korea Institute of Machinery and Materials)
저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국생산제조학회지 Vol.31 No.3
발행연도
2022.6
수록면
147 - 153 (7page)
DOI
10.7735/ksmte.2022.31.3.147

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

초록· 키워드

오류제보하기
Megasonic cleaning has been used to clean contaminants from wafer surfaces in semiconductor production. This research developed a 3 MHz megasonic waveguide for cleaning processes in semiconductor industries. Firstly, a 1 MHz type was fabricated in aluminum (Al) and quartz, consisting of a lead zirconate titanate (PZT) actuator and a waveguide. A 3 MHz quartz waveguide was also fabricated based on the fabricated results, and its performance was tested. In the design process, finite element analysis was performed. As a result, the predicted value was 2.997 MHz, which agreed with the measured value of 2.995 MHz with a 0.1% error. Lastly, a particle removal efficiency (PRE) test was performed, and the results showed that 93.1% PRE was achieved at 8W power. Considering the acoustic pressure and the cleaning test results, the 3 MHz megasonic may help the removal of contaminants from wafer surfaces effectively.
#Megasonic #Cleaning #Finite element method(FEM) #Waveguide #Piezoelectric actuator

목차

ABSTRACT
1. Introduction
2. Design of megasonic waveguides
3. Experiment
4. Conclusion
References

참고문헌 (0)

참고문헌 신청
참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

유액흐름 분석을 통한 바이오 폴리머 생산 효모의 교반조건 최적화
강경곤 ,  김두현 ,  권덕호 외 4명 한국생산제조학회지 2022 .04
액티브 시니어를 위한 머신 러닝 기반 거동 분석 시스템 구축
함상우 ,  유창영 ,  정재윤 외 5명 한국생산제조학회지 2022 .04
YOLOv5를 이용한 정상/비정상 적혈구 구별 알고리즘 개발
김진구 ,  강지훈 ,  최경철 외 5명 한국생산제조학회지 2022 .04
CAD/CAE/CAM을 활용한 금형형상 가공에 관한 연구
한규택 한국생산제조학회지 2022 .04
재제조를 위한 노후 선반 스핀들의 열적 안정화 설계에 관한 연구
유성원 ,  이정학 ,  이춘만 외 1명 한국생산제조학회지 2022 .02

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2022-003-001335705