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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
정운조 (Chosun College of Science & Technology)
저널정보
대한전기학회 전기학회논문지 전기학회논문지 제71권 제7호
발행연도
2022.7
수록면
987 - 992 (6page)
DOI
10.5370/KIEE.2022.71.7.987

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80Ti-20Zr, 50Ti-50Zr, 20Ti-80Zr [wt%] alloy composition was designed to develop a Ti-Zr alloy target that can exhibit various properties depending on the composition ratio. And the vacuum arc melting process was established and finally, a 100[mmφ] Ti-Zr alloy ingot was developed. Then, using the Ti-Zr alloy target of these three compositions, the AIP process was performed while changing the bias voltage to form a TiZrN thin film with a thickness of about 3[μm]. The TiZrN thin film was able to achieve an adhesion force of 60[N] or more and a high hardness of 1,500[Hv] under the 100[V] bias condition, and various characteristic changes were considered by changing the Ti and Zr composition of the alloy target.
#Ti-Zr Alloy #TiZrN #Arc Ion Plating #Vacuum Arc Remelting #Adhesion Force

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
References

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