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학술대회자료
저자정보
곽성진 (한양대학교) 황종진 (한양대학교) 문승재 (한양대학교)
저널정보
대한설비공학회 대한설비공학회 학술발표대회논문집 대한설비공학회 2021년도 동계학술발표대회 논문집
발행연도
2021.11
수록면
601 - 604 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2022

컴퓨터 비전 및 머신러닝을 이용한 웨이퍼 노치 감지 시스템
곽성진 융합기계공 2022.01 학위논문

2021

컴퓨터 비전 및 머신러닝을 이용한 웨이퍼 노치 감지 시스템 연구
곽성진 ,  황종진 ,  문승재 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2021.11 학술대회자료

초록· 키워드

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본 연구에서는 반도체 제조 공정 중 이온주입 공정에서 발생하는 채널링 현상을 예방하기 위해 웨이퍼의 방향이 일정하게 공정이 진행되는지 확인 할 수 있는 웨이퍼 노치 감지 시스템을 제안하였다. 웨이퍼의 방향을 확인하기 위해 웨이퍼 노치의 각도를 카메라가 실시간으로 인식할 수 있도록 하며, 감지된 노치의 위치를 바탕으로 웨이퍼의 방향이 일정한 상태인지 확인할 수 있다. 실험을 위해 사용한 Jetson Board는 Jetson Xavier NX를 사용하였다. 학습에 필요한 노치 이미지는 YOLO_MARK를 이용하여 각 이미지 파일에 노치의 좌표를 지정해 주었다. 구성한 이미지 데이터를 바탕으로 YOLO v4를 이용해 이미지 학습을 수행하였으며, 머신러닝은 우분투를 OS로 하는 PC로 진행하였다. 더불어 OpenCV 및 YOLO(You Only Look Once)가 세트 되어 있는 Jetson Xavier에 카메라 모듈을 연결하여 디바이스로 사용하고, 웨이퍼의 노치 이미지를 학습한 Dataset이 Jetson Xavier에 적용되어 노치를 감지한다. 웨이퍼 노치를 기준으로 실제 공정이 진행되는 각도인 112도 부근에서 약 10도 범위의 각도를 검출할 수 있도록 해당 시스템을 설치하여 검출을 수행한다. 실제 설비에 적용하여 수행한 실험에서 본 시스템은 노치를 감지하는데 2초 이내의 반응속도, 평균 95% 정도의 인식 정확도가 나타났다.
#Channeling Effect(채널링 현상) #웨이퍼 노치 #머신러닝 #Jetson Xavier #컴퓨터 비전 #Yolo(You look only once)

목차

Abstract
1. 서론
2. 연구내용
3. 실험 방법 및 결과
4. 결론
References

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