저주파잡음특성을 이용한 3차원 반도체소자의 결함 분석

배학열

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자료유형: 학술저널

저자정보: 배학열 (전북대학교)

저널정보: 대한전자공학회 전자공학회지 電子工學會誌第49卷第7號(通卷第458號)

발행연도: 2022.7

수록면: 26 - 32 (7page)

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