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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2022.6
- 수록면
- 1,986 - 1,989 (4page)
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In this paper, we propose sensor fault detection and prediction system using Variational AutoEncoder(VAE) based data trend analysis. The proposed system scores the fault state prediction by observing the trend of input data through the sample mean of Reconstruction Error(RE) obtained from VAE and calculating the distance from the threshold statistically. In the experiment, the accuracy analysis of the VAE and hypothesis verification are performed using data that added noise to the actual wafer sensor data.
목차
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 본론
Ⅲ. 실험 및 검증
Ⅳ. 결론 및 향후 연구 방향
참고문헌
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