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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2022.11
- 수록면
- 111 - 116 (6page)
- DOI
- 10.5573/ieie.2022.59.11.111
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인듐 주석 산화물(Indium tin oxide, ITO)을 이용하여 전계효과 트랜지스터(field-effect transistor, FET)를 제작하였으며, 제작한 FET를 이용하여 염소 이온(Cl-) 검출이 가능한 이온 감응 전계효과 트랜지스터(ion sensitive field-effect transistor, ISFET) 센서를 제작하였다. 고감도 이온 센서를 제작하기 위하여 ITO 박막은 아르곤(Ar) 가스 대비 산소(O₂) 가스 비율이 20 : 1 조건에서 스퍼터를 이용하여 ITO 박막을 증착하였다. 염소 이온 검출을 위한 이온 감응막(ion selective membrane, ISM)은 ITO-ISFET 게이트 채널 표면에 도포하였으며 염소 이온 검출은 ITO-ISFET의 FET 특성곡선 평가를 통하여 확인하였다. ITO-ISFET 센서 감도는 염소 이온 1 uM에서 100 mM의 농도 범위에서 69.53 mV/dec의 감도를 나타내었다. 또한, 브롬화칼륨(Kbr), 질산칼륨(KNO₃), 황산칼륨(K₂SO₄)의 간섭이온이 포함되어 있는 버퍼 용액에서 ITO-ISFET 센서는 염소 이온을 검출하였으며 염소 이온 농도가 실시간으로 변하는 조건에서도 ITO-ISFET 센서는 염소 이온 농도를 검출하였다.
목차
요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험
Ⅲ. 결과 및 토의
Ⅳ. 결론
REFERENCES
참고문헌 (15)
참고문헌 신청
R. Tse, J. Garland, K. Kesha, P. Morrow, H. Elstub, A. Cala, et al., "Elevated postmortem vitreous sodium and chloride level in a salt water drowning death during self-contained underwater breathing apparatus diving with diving mask in place: case report," The American Journal of Forensic Medicine and Pathology, vol. 39, pp. 247-249, 2018.
S. Szklarek, A. Górecka, and A. Wojtal-Frankiewicz, "The effects of road salt on freshwater ecosystems and solutions for mitigating chloride pollution-A review," Science of The Total Environment, vol. 805, p. 150289, 2022.
Y. J. Kwon and S. C. Lee, "Study about a density (ph) change of an alkaline ion by PWM voltage control necessary for a living body," Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea SC, vol. 41, pp. 37-42, 2004.
Z. Zhang, X. Xu, H. Fan, D. Li, and H. Deng, "Higher serum chloride concentrations are associated with acute kidney injury in unselected critically ill patients," BMC nephrology, vol. 14, pp. 1-6, 2013.
A. D. Wake, "The role of dietary salt and alcohol use reduction in the management of hypertension," Expert Review of Cardiovascular Therapy, vol. 19, pp. 27-40, 2021.
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