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Advanced Atomic Layer Deposition: Ultrathin metal film growth using discrete feeding method and electric potential assisted-atomic layer deposition
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2022 .11
Advanced Atomic Layer Deposition: Metal Oxide Thin Film Growth Using Electric Potential
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2024 .10
고온 증착이 가능한 신규 La 전구체와 discrete feeding method를 도입한 ALD La₂O₃박막의 성장 거동 및 전기적 특성 개선
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2024 .10
Advanced atomic layer deposition of ultrathin metal films
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .11
원자적층법(Atomic Layer Deposition) 증착 조건에 따른 ZnO 박막의 특성 변화 확인
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .10
원자층 박막 증착법을 이용한 리튬 박막 제작
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
R&D용 소형 원자층 증착 시스템 개발
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .12
소형 원자층 증착 장치
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
다양한 전구체의 펄스 시간에 따른 원자층 박막 증착을 통한 박막 특성 비교
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
기능성 박막 코팅용 소형 원자층 증착 장비
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .05
Graphene Oxide 막의 염 제거율 및 안정성 증대를 위한 원자층증착법(Atomic Layer Deposition) 적용 및 평가
대한환경공학회 학술발표논문집
2018 .11
Atomic Layer Deposition 방법을 이용한 Zinc Oxide Hybrid 박막의 기계적 물성 향상
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
연구용 초소형 원자층 층착 장치 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .05
유량 변화에 따른 원자층 증착 장비 내부 유동특성 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2019 .11
Surface Chemistry Modification for Developing Atomic Layer Deposition Process for the 2D Material and Thin Film Deposition on 2D Materials
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .11
상압 기반의 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템 개발
대한기계학회 춘추학술대회
2016 .12
원자층 증착 박막을 활용한 고성능 산화물 전해질 제작
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
유한요소해석을 통한 Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition 장비 유동 가시화 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2020 .07
공간 분할형 상압 원자층 증착 시스템 개발
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2017 .04
Effect of Deposition Temperature on Mechanical Properties of Freestanding ALD Al₂O₃ Thin Films
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .05
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