Identifying defects on unclean wafer surface through anomaly detection

Sun Jae Park; Tae-Yeon Kim; Do-Nyun Kim

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: Sun Jae Park (Seoul National University) Tae-Yeon Kim (Seoul National University) Do-Nyun Kim (Seoul National University)

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2022년 학술대회

발행연도: 2022.11

수록면: 888 - 888 (1page)

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#Anomaly detection #Edge detection #Inspection #Machine learning

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