다중 분리 처리 로봇 기반 웨이퍼 클리닝 시스템 개발

박송희; 이용환; 박종익; 김영형

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 박송희 (금오공과대학교) 이용환 (금오공과대학교) 박종익 (세정로봇) 김영형 (금오공과대학교)

저널정보: 한국정보기술학회 Proceedings of KIIT Conference 한국정보기술학회 2022년도 추계종합학술대회 및 대학생논문경진대회

발행연도: 2022.12

수록면: 349 - 350 (2page)

이용수

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