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현지태 (삼성전자공과대학교) 박호연 (삼성전자공과대학교) 류충렬 (삼성전자공과대학교)
저널정보
대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 2022년도 대한전자공학회 추계학술대회 논문집
발행연도
2022.11
수록면
51 - 55 (5page)

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본 논문에서는 H2SO4 Chemical의 배관 중성화 Flushing 방안에 대해 새로운 접근으로 비눗물을 이용하여 기존보다 효율적인 중성화 Flushing 방안을 확인하였다. 기존 DIW(De-Ionized Water : 초순수물)를 이용한 Flushing 방안은 중성화 진행 속도가 현저히 늦고, 작업 간 Chemical 접액 및 Fume에 노출되기 쉬운 문제점이 있다. 기존 방안과 비눗물을 이용한 중성화 진행 차이를 비교하고 실제 배관 내의 중성화 정도를 확인하여, H2SO4 Chemical 공급장치 내 배관 중성화 Flushing의 환경안전 측면 개선과 작업 간 업무량 및 Risk를 감소시켜 효율적인 중성화 Flushing 방안 수립에 기여하고자 한다.

목차

Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 본론
Ⅲ. 결론
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