Maskless lithography를 위한 MEMS 미러 레이저 스캐닝 시스템 설계

조준희; 임형준; 장원석

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 조준희 (한국기계연구원) 임형준 (한국기계연구원) 장원석 (한국기계연구원)

저널정보: 한국기계가공학회 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 한국기계가공학회 2022년도 추계학술대회 논문집

발행연도: 2022.12

수록면: 232 - 232 (1page)

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#Laser direct lithography #MEMS mirror #Maskless lithography #Laser scanning system

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