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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2017.9
- 수록면
- 589 - 595 (7page)
- DOI
- https://doi.org/10.4313/JKEM.2017.30.9.589
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NOx가스센서로 사용하기 위해서 MWCNT를 이용하여 MOS-FET구조의 센서를 제작하였다.
가스센서는 흡착된 가스 분자를 탈착시키기 위해서 열을 인가해야 한다. 따라서 센서에 열을 인가한 경우 열의 분포는 가스 분자 탈착의 균일도를 높이는 중요한 요소로 작용한다.
본 연구에서는 센서 전극의 간극을 30, 60 및 90 [μm]로 변화 시켜서 제작된 센서에 흡착된 가스분자를 제거하기 위해서 150[℃]의 열을 인가하게 되는데, 이때 가해진 열이 센서 내에서 확산되는 과정을 확인하기 위해서 COMSOL 해석 프로그램을 이용하였다.
열 해석을 위해서 FET 가스센서의 구조체를 모델링을 진행하였으며, 제시된 2차원 모델링에 대해서 센서 구성 부분에 대해서 재료의 물성값을 제시하고, 유한요소법(FEM)을 이용하여 열이 확산되는 정도를 알기 위해서 편미분 방정식(Partial Differential Equation)에 의해서 지배방정식(Governing Equations)을 제시하여 해석하였다.
열해석 결과 센서 설계시 효율적인 가스 흡착을 위해서는 전극 간극이 큰 센서가 유리하지만 열확산 구배를 고려하여 최적의 전극 간극은 60[μm]라는 것을 확인하였다.
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김현수 / 2013 / MOS-FET 구조의 MWCNT 가스센서를 이용한 초희박 NOx 가스 검출 특성 / 전기전자재료학회논문지 26(9):707~711
이원재 / 2012 / 유리 기판 위에 제작된 Nitrocellulose/MWCNT 박막의 질소가스 검출특성 / 반도체디스플레이기술학회지 11(1):55~59
김현수 / 2014 / MOS-FET구조의 MWCNT 가스센서에서 Vgs의 변화에 따른 NOx 가스 검출 특성 / 전기전자재료학회논문지 27(4):257~261
http://www.comsol.com
김현수 / 2013 / MOS-FET 구조의 MWCNT 가스센서를 이용한 초희박 NOx 가스 검출 특성 / 전기전자재료학회논문지 26(9):707~711
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