유전체 방전 살균 극대화를 위한 금속 나노 구조를 이용한 표면 플라즈몬 전극에 관한 연구

기현철; 오병윤

doi:https://doi.org/10.4313/JKEM.2018.31.2.80

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자료유형: 학술저널

저자정보: 기현철 (한국광기술원) 오병윤 ((주)제시테크)

저널정보: 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제31권 제2호

발행연도: 2018.2

수록면: 80 - 84 (5page)

DOI: https://doi.org/10.4313/JKEM.2018.31.2.80

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In this study, we investigated plasmon effects to maximize the sterilization of dielectric discharge. Wepredicted the effect using the finite difference time domain (FDTD) method as a function of electrode shape, size, andperiod. The structure of the electrode was designed with a thickness of 100 nm of silver nanoparticles on a glasssubstrate, and was varied according to the shape, size, and period of the electrode hole. Based on the results, it wasconfirmed that the effect of plasmons was independent of the shape of the electrode hole. It was thus confirmed thatthe plasmon effect depended only on the size and period of the holes. Further, the plasmon effect was affected by thesize rather than period of the holes. Because the absorption of light by the metal varied according to the size of thehole, the plasmon effect generated by the absorption of light also varied. The best results were obtained when the radiusand period of the electrode holes were 0.1 μm and 0.4 μm, respectively.

#Dielectric discharge #Plasma #Plasmon #Nano structure #Hole

참고문헌 (11)

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김동석 / 2011 / 수중 플라즈마 공정을 이용한 Rhodamine B 염료의 제거 / 한국환경보건학회지 37(3):218~225

엄환섭 / 2006 / 대기압 플라즈마와 응용 / Applied Science and Convergence Technology 15(2):117~138

R. Brandenburg / 2007 / Contrib. Plasma Phys. 47:72

K. D. Weltmann / 2008 / J. Phys. D: Appl. Phys. 41:194008

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