비대칭 마그네트론 스퍼터로 증착된 비정질 탄소박막의트라이볼로지 특성에서 CrC 삽입층 효과에 대한 연구

김필중; 박용섭

doi:https://doi.org/10.4313/JKEM.2018.31.7.475

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김필중 (조선이공대학교) 박용섭 (조선이공대학교)

저널정보: 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제31권 제7호

발행연도: 2018.11

수록면: 475 - 480 (6page)

DOI: https://doi.org/10.4313/JKEM.2018.31.7.475

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We investigated the tribological properties of amorphous carbon (a-C) films deposited with CrC interlayers ofvarious thicknesses as the adhesive layer. A-C and CrC thin films were deposited using the unbalanced magnetron(UBM) sputtering method with graphite and chromium as the targets. CrC films as the interlayer were fabricated undera-C films, and various structural, surface, and tribological properties of a-C films deposited with various CrC interlayerthicknesses were investigated. With various CrC interlayer thicknesses under a-C films, the tribological properties ofCrC/a-C films were improved; the increased film thickness exhibited a maximum high hardness of over 27.5 GPa, highelastic modulus of over 242 GPa, critical load of 31 N, residual stress of 1.85 GPa, and a smooth surface below 0.09nm at the condition of 30-nm CrC thickness.

#Cr doped amorphous carbon #Unbalanced magnetron sputtering #Hardness and elastic modulus #Adhesion #Residual stress

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Boris Kržan / 2009 / Tribological behavior of tungsten-doped DLC coating under oil lubrication / Tribology International 42(2):229~235

J Robertson / 2002 / Diamond-like amorphous carbon / Materials Science and Engineering: R: Reports 37(4-6):129~281

P.K. Bachmann / 1994 / Wear testing of CVD diamond films / Diamond and Related Materials 3(4-6):799~804

N. Sasvvides / 1985 / Appl. Phys. Lett 46:146

C. Donnet / 1996 / Advanced solid lubricant coatings for high vacuum environments / Surface and Coatings Technology 80(1-2):151~156

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