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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
최희원 (전북대학교) 서용석 (전북대) 민주화 (MKS Power Solutions Asia)
저널정보
전력전자학회 전력전자학회논문지 전력전자학회 논문지 제28권 제2호
발행연도
2023.4
수록면
105 - 110 (6page)
DOI
10.6113/TKPE.2023.28.2.105

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2023

13.56 MHz RF 플라즈마 임피던스 정합기용 전자식 가변 커패시터의 가변 속도 최적화를 위한 인덕터 설계 방법
최희원 ,  서용석 ,  민주화 전력전자학회논문지 2023.04 학술저널

2022

13.56 MHz RF 플라즈마 임피던스 메처용 전자식 가변 커패시터의 인덕터 설계 방법
최희원 ,  민주화 ,  서용석 전력전자학회 학술대회 논문집 2022.07 학술대회자료

초록· 키워드

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This study introduces a method for designing an inductor for an electrical variable capacitor for an RF plasma impedance matcher of 13.56 MHz. In the RF impedance matcher, variable capacitors are essentially used for maximum power transfer of loads and sources. Electrical variable capacitors are next-generation variable capacitors. They can shorten the matching time compared with conventional mechanical variable capacitors. The proposed design method determines the inductor value with an optimized variable speed through the inductor design of the diode series-type electrical variable capacitor circuit. This method provides a faster variable speed to the electrical variable capacitor circuit to further shorten the matching time. The proposed design method is validated through simulations and experiments.
#Electrical variable capacitor #Impedance matching #Matching speed #RF plasma system #Vacuum variable capacitor

목차

Abstract
1. 서론
2. Diode series type 전자식 가변 커패시터
3. 향상된 가변 속도를 가지는 diode series type 전자식 가변 커패시터 회로의 인덕터 설계 방법
4. 시뮬레이션
5. 실험
6. 결론
References

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