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학술저널
저자정보
김용준 (경상대학교) 이성갑 (경상대학교) 여진호 (경상대학교) 조예원 (경상대학교)
저널정보
한양대학교 세라믹공정연구센터 Journal of Ceramic Processing Research Journal of Ceramic Processing Research 제17권 제3호
발행연도
2016.3
수록면
232 - 234 (3page)

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We fabricated the electrolyte-insulator-metal (EIM) sensor on the base of anodic aluminum oxide (AAO) template forcapacitive pH sensors. For the change of the thickness of AAO template, the second anodizing time was varied from 1 minto 10 min. With increasing the second anodizing time from 1 min to 10 min, the thickness of AAO template increased from90 nm to 1.3 μm. And the surface area compared to planar structure increased from 3 times to 25 times. The pH sensitivityof sensors with the second anodizing time of 10 min showed the highest value of 56.8 mV/pH in the concentration range frompH 3 to pH 11, a large hysteresis voltage of 7.6 mV in a cycle of pH 7 → 11 → 7 → 3 → 7. The EIM sensor with the secondanodizing time of 1 min exhibited the best long-term stability of 2.5 mV/h.
#AAO #EIM #pH sensors

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Y. M. Bae / 2005 / Biosens. Bioelectron 21:103~110 google schola Z. Li / 2004 / Nano Letters 4:245~247 google schola N. Nather / 2005 / Electrochimica Acta 51:924~929 google schola K. Risveden / 2007 / Biosens. Bioelectron 22:3105~3112 google schola M. J. Schoning / 1996 / Sensors and Actuators B 35:228~233 google schola

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