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Yang Bo (Chinese Academy of Sciences) Qing Wang (Shanghai Industrial μTechnology Research Institute) Jinyu Wang (Chinese Academy of Sciences) Yan Cai (Chinese Academy of Sciences) Wencheng Yue (Chinese Academy of Sciences) Shuxiao Wang (Chinese Academy of Sciences) Wei Wang (Shanghai Industrial μTechnology Research Institute) Mingbin Yu (Shanghai Industrial μTechnology Research Institute)
저널정보
한국광학회 Current Optics and Photonics Current Optics and Photonics Vol.7 No.2
발행연도
2023.4
수록면
157 - 165 (9page)

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We propose a highly directional waveguide grating antenna for an optical phased array, achieving high directionality of more than 97% by interleaving the trenches with different etching depths in the silicon nitride layer, and adopting a multilayered structure. Meanwhile, the multilayered structure reduces the perturbation strength, which enables a centimeter-scale radiation length. The beam-steering range is 13.2°, with a wavelength bandwidth of 100 nm. The 1-dB bandwidth of the grating is 305 nm. The multilayered grating structure has a large tolerance to the fabrication variation and is compatible with CMOS fabrication techniques.
#Grating antenna #High directionality #Interleaved etching #Optical phased arrays #Siliconphotonics

목차

I. INTRODUCTION
II. DESIGN PRINCIPLE
III. RESULTS
IV. CONCLUSION
REFERENCES

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