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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2023.06
- 수록면
- 303 - 312 (10page)
- DOI
- 10.3795/KSME-B.2023.47.6.303
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고집적도 차세대-반도체 생산설비의 핵심부품인 냉각식 액체질량유량계측기(cooling type liquid mass flow meter)의 시작품을 제작하여 실험을 수행하였으며, 수치해석과 비교를 통하여 이론의 정확도를 분석하였다. 정밀저울로 계측한 누적 액체질량의 시간에 따른 변화로부터 일관되고 신뢰성이 높은 액체질량유량을 산출하였으며, 센서관을 통한 압력손실의 선형적 변화에 근거하여 이론모델에 도입한 관 유동포물선 속도분포의 타당성을 확인하였다. 수치해석 결과는 실험계측치와 전반적으로 잘 일치하였으나 TEC 냉각부에서는 오차가 상대적으로 크고, 이는 질량유량계측의 기본이 되는 온도차비의 수치해석적예측에 증폭된 오차로 나타난다. 이러한 오차에도 불구하고, 질량유량에 따라 변하는 온도차비의 변화경향은 실험과 동일하므로, 설계변수에 대한 최적화와 다양한 유체에 대한 변환인자 도출에 수치해석을 효과적으로 적용할 수 있다.
목차
초록
Abstract
1. 서론
2. 실험장치 및 방법
3. 실험 결과 분석
4. 수치해석
5. 실험과 수치해석 결과 비교
6. 결론
참고문헌 (References)
참고문헌 (10)
참고문헌 신청
Ovanesyan, R. A., Filatova, E. A. and Elliott, S. D., Hausmann, D. M., Smith, D. C. and Agarwal, S., 2019, “Atomic Layer Deposition of Silicon-based Dielectrics for Semiconductor Manufacturing: Current Status and Future Outlook,” Journal of Vacuum Science
Cheesewright, R., Clark, C., Belhadj, A. and Hou, Y. Y., 2003, “The Dynamic Response of Coriolis Mass Flow Meters,” Journal of Fluid Structures, Vol. 18, pp. 165~178.
Henry, M. P., Clark, C., Duta, M., Cheesewright, R. and Tombs, M., 2003, “Response of a Coriolis Mass Flow Meter to Step Changes in Flow Rate,” Flow Measurement and Instrumentation, Vol. 14, pp. 109~ 118.
Kim, S. J. and Jang, S. P., 2001, “Experimental and Numerical Analysis of Heat Transfer Phenomena in a Sensor Tube of a Mass Flow Controller,” Int. J. Heat Mass Transfer, Vol. 44, pp. 1711~1724.
Viswanathan, M., Kandaswamy, A., Sreekala, S. K. and Sajna, K. V., 2002, “Development, Modeling and Certain Investigations on Thermal Mass Flow Meters,” Flow Measurement and Instrumentation, Vol. 12, pp. 353~360.
Cheesewright, R., Clark, C., Belhadj, A. and Hou, Y. Y., 2003, “The Dynamic Response of Coriolis Mass Flow Meters,” Journal of Fluid Structures, Vol. 18, pp. 165~178.
Henry, M. P., Clark, C., Duta, M., Cheesewright, R. and Tombs, M., 2003, “Response of a Coriolis Mass Flow Meter to Step Changes in Flow Rate,” Flow Measurement and Instrumentation, Vol. 14, pp. 109~ 118.
Kim, S. J. and Jang, S. P., 2001, “Experimental and Numerical Analysis of Heat Transfer Phenomena in a Sensor Tube of a Mass Flow Controller,” Int. J. Heat Mass Transfer, Vol. 44, pp. 1711~1724.
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