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이용수
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 관련 연구
Ⅲ. 제안 방법
Ⅳ. 실험결과
Ⅴ. 결론 및 향후 연구 방향
참고문헌
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반도체 웨이퍼의 온도 측정에 관한 연구
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2015 .06
고비용 반도체 기판의 재활용 및 광전기화학전지 응용 기술
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2024 .10
Fourier Filter를 이용한 비전 기반 반도체 Wafer 결함 검출
한국통신학회 학술대회논문집
2020 .11
Automated System for Cleaning Semiconductor Wafer
한국정보기술학회논문지
2024 .09
DBSCAN 알고리즘을 이용한 in-fab 공정의 반도체 웨이퍼 Grade 판정 시스템 개발
Proceedings of KIIT Conference
2024 .05
반도체 웨이퍼 가공 공정의 이상감지 및 분석을 위한 방법론 개발
대한산업공학회 추계학술대회 논문집
2018 .11
반도체 제작을 위한 웨이퍼 배치 내부 유동 분석
한국전산유체공학회 학술대회논문집
2017 .11
다중 분리 처리 로봇 기반 웨이퍼 위치 및 검사 비전 알고리즘 개발
Proceedings of KIIT Conference
2021 .11
Wafer Center Alignment System for Wafer Transfer Robot based on Reduced Number of Sensors
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .10
웨이퍼 맵의 다중 결함 패턴 인지를 위한 벡터 표현 기반 캡슐 네트워크 구현
한국통신학회논문지
2023 .09
박판 웨이퍼의 적재 시 손상 최소화 기술
한국산학기술학회 논문지
2021 .01
웨이퍼 배치 구조를 갖는 CVD 챔버 내부의 유동 분석
대한기계학회 논문집 B권
2018 .01
딥러닝을 활용한 반도체 웨이퍼 불량 유형 구분 모델에 관한 연구
한국통신학회 학술대회논문집
2022 .02
비전 얼라이먼트 유닛의 다중 웨이퍼 위치 조정을 위한 비전 알고리즘에 관한 연구
Proceedings of KIIT Conference
2021 .06
영상처리 기반 웨이퍼 이송 위치 정밀 측정 시스템 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .05
데이터 정규화를 통한 웨이퍼 불량 검출 정확도 향상
한국정보과학회 학술발표논문집
2024 .06
관측치 간 공간적 유사성과 변수의 상관관계를 고려한 반도체 웨이퍼 테스트 데이터의 결측치 대체 방법 개발
대한산업공학회 추계학술대회 논문집
2022 .11
회귀분석을 이용한 반도체 웨이퍼 기울기 조절의 영향 인자 도출 및 개선
대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집
2023 .05
다중 결함 인지 손실 함수 및 머신러닝 기반 웨이퍼 결함 종류 검파 기법 연구
한국통신학회 학술대회논문집
2022 .06
불균형이 반영된 준지도 학습을 활용한 반도체 웨이퍼 불량 패턴 검출
대한산업공학회 추계학술대회 논문집
2022 .11
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