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저자정보
장현익 (삼성전자공과대학교) 류충렬 (삼성전자공과대학교)
저널정보
대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 2023년도 대한전자공학회 추계학술대회 논문집
발행연도
2023.11
수록면
283 - 286 (4page)

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In the semiconductor inspection process, device seating defects arise from factors like device miniaturization and cumulative unit tolerance. Seating defects lead to critical secondary issues, including product loss and equipment damage. As a solution to address this, the utilization of vibrators is being highlighted. However, using a vibrator means applying an additional external force, thus requiring the minimum necessary force. Therefore, this paper proposes a method to derive the minimum external force that a vibrator should apply using only product information. This method involves mathematical modeling and experimental approaches to determine the maximum static frictional force and the static friction coefficient. The research results showed that the maximum static frictional force and the static friction coefficient for the X and Y axes of each product had a deviation of up to 0.4mN and 0.04, respectively. This study can help calculate the vibration acceleration of the vibrator for each mass product, and can consider solving the seating problems in inspection process of next-generation devices.

목차

Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 본론
Ⅲ. Data 분석 및 해석
Ⅳ. 결론 및 향후 연구 방향
참고문헌

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