Process for the Fabrication of Nickel Material High Aspect-ratio Digital PCR Partition

김기홍; 임형준; 권순근; 최학종

doi:10.7736/JKSPE.024.059

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김기홍 (한국기계연구원) 임형준 (한국기계연구원) 권순근 (한국기계연구원) 최학종 (한국기계연구원)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Vol.41 No.8

발행연도: 2024.8

수록면: 663 - 668 (6page)

DOI: 10.7736/JKSPE.024.059

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This paper outlines the fabrication process of the partition component, a crucial element in digital PCR. The partition component consists of thousands of micro-wells capable of holding small volumes of reagents. In this study, the partition component was created in a honeycomb structure, with hexagonally shaped micro-wells measuring 100 μm in size and spaced 20 μm apart. The fabrication process involved using photolithography, lift-off, and electroplating techniques. Photolithography and lift-off processes were employed to create a pattern of Cu metal layers in a hexagonal honeycomb arrangement on a glass substrate. Subsequently, the Cu metal-patterned substrate was used to produce pillar patterns of SU-8 with a high aspect ratio using photolithography. Finally, the gaps between the SU-8 pillar patterns were filled with nickel through electroplating, completing the partition component. The micro-wells in the partition component were designed to have an aspect ratio of 4-5; however, in this study, micro-wells with an aspect ratio of 2 and a depth of 200 μm were fabricated.

#Digital PCR (디지털 PCR) #Partition (파티션) #High-aspect ratio (고세장비) #SU-8 (SU-8) #Electroplating (전주도금)

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