Highly Reflective Distributed Bragg Reflectors for Planar Microcavities: From Modelling to Experimentation

Zeeshan Tahir; Mamoon Ur Rashid; 김성도; 박윤창; Hong Nhan Tran; 조신욱; 김용수

doi:https://doi.org/10.1007/s42341-023-00483-3

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저자정보: Zeeshan Tahir (울산대학교(Department of Semiconductor Physics)) Mamoon Ur Rashid (울산대학교(Department of Semiconductor Physics)) 김성도 (울산대학교) 박윤창 (National Nanofab Center) Hong Nhan Tran (University of Ulsan) 조신욱 (울산대학교) 김용수 (울산대학교)

저널정보: 한국전기전자재료학회 Transactions on Electrical and Electronic Materials Transactions on Electrical and Electronic Materials Vol.25 No.1

발행연도: 2024.2

수록면: 32 - 39 (8page)

DOI: https://doi.org/10.1007/s42341-023-00483-3

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Highly reflective distributed Bragg reflectors (DBRs) play significant in controlling and manipulating the spontaneous emission of light in photonic and optoelectronic devices. Herein, we report a systemic study based on the complete theoretical modeling and the fabrication of highly reflective DBR comprised of 7.5 periods of repeating TiO2/SiO2 thin films. Firstly, a computational model based on the transfer matrix method was used to simulate the reflectance, transmittance, and electric field intensity distribution across the DBR structure. Subsequently, fabrication was performed via the conventional electron beam evaporation technique. Interestingly, the as-grown DBR exhibits low surface roughness ~0.767 nm and sharp interfaces between the neighboring TiO2 and SiO2 films manifesting the high quality of the fabrication process. Consequently, an excellent consistency was observed between the simulated and the experimental reflectance and transmittance spectra confirming the successful growth of the 7.5 pairs DBR. Moreover, the high reflectance ~99.0% reflectance and the large stopband width ~190 nm in the range 600–800 nm indicates the superior performance of the as-fabricated DBRs and were therefore utilized to develop a highly reflective monolithic and a Tamm plasmon planar microcavities.

#Photonic crystals #Distributed Bragg reflectors #Transfer matrix method #Planar microcavities

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