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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
이경일 (송원대학교)
저널정보
한국기계가공학회 한국기계가공학회지 한국기계가공학회지 제23권 제11호
발행연도
2024.11
수록면
47 - 53 (7page)

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The main body of the machining equipment utilized for ultra-precision turning (cutting) must exhibit sufficient rigidity and accuracy, with the biting surface polished to a high degree. Additionally, the cutting environment and conditions must be considered. The installation room must be insulated so that the machine is not affected by changes in the surrounding temperature. The heat generated during machining must be removed promptly to prevent temperature changes at the onset and during machining. Furthermore, it is critical to maintain the machine tool and workpiece at a constant temperature at all times to prevent thermal expansion of the machine tool owing to temperature changes. Consequently, this study aims to improve the precision of such machining equipment by configuring a 40 nm-class dual-servo system and integrating a microactuator based on a piezoelectric actuator with a global servo system composed of a linear stage. Additionally, a dry cooling system employing an infrared thermal imaging camera and a thermoelectric element were studied to control thermal deformation .

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. Dual Servo 설계
3. 적외선 열화상기반 건식냉각 시스템
4. Dual Servo 가공 실험 결과
5. 결론
REFERENCES

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