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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2024.9
- 수록면
- 285 - 289 (5page)
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에어로졸 데포지션(Aerosol Deposition) 기술을 활용하여 4H-SiC(Silicon Carbide) 기판 상에 Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>(Gallium Oxide) 막을 1㎛와 5㎛의 두께로 증착하였다. 이후에는 산화막 두께의 변화가 다이오드의 전기적 특성에 미치는 영향을 분석하였으며 실험 결과, 두꺼운 박막에서는 소자가 낮은 전압에서 동작하는 것을 확인했으나, 반면에 얇은 박막에서는 전류의 흐름이 비교적 더 가파르게 나타남이 측정되었다. 이를 통해, 박막의 원활한 전기적 특성을 조절하기 위해서는 박막의 두께가 중요함을 확인하였다.
목차
Abstract
요약
I. 서론
II. 본론
III. 결론
References
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