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Al-Ni thin films were fabricated using combinatorial sputtering system to realize highly sensitive surface acoustic wave (SAW)devices. The Al-Ni sample library was grown with various chemical compositions and electrical resistivities, which provided importantinformation for selecting the most suitable materials for SAW devices. As acoustic waves generated from piezoelectric materials are significantly affected by the resistivity and density of the interdigital transducer (IDT) electrodes, three types of Al-Ni thin films with different Al contents were fabricated. The thickness of the Al-Ni thin film used in the SAW-IDT electrode was fixed at 100 nm. As theAl content of the Al-Ni film decreased from 79.2 to 24.5 at%, the resistivity increased slightly from 4.8 to 5.8 × 10-5 Ω-cm, whereasthe calculated density increased significantly from 3.6 to 6.9 g/cm3. The SAW device composed of Al-Ni IDT electrodes resonated at71 MHz without frequency shifts; however, the selectivity of the resonant frequency and insertion loss deteriorated as the Al contentdecreased. When there is no significant difference in the electrical characteristics of the SAW-IDT electrodes, the performance of theSAW devices can be determined by the density of the IDT electrodes.
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