MEMS 공정 기반 AlN 압전 에너지 수확기의 제작 방법 및 직선형과 테이퍼형 캔틸레버 구조의 에너지 수확 특성 분석

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저자정보: 김항겸 (대구경북과학기술원 (DGIST)) 장일류 (대구경북과학기술원 (DGIST)) 박경준 (대구경북과학기술원 (DGIST)) 김성복 (대구경북과학기술원 (DGIST)) 주우리 (대구경북과학기술원 (DGIST)) 이성훈 (대구경북과학기술원 (DGIST)) 방진배 (대구경북과학기술원 (DGIST)) 성병목 (대구경북과학기술원 (DGIST)) 전성기 (대구경북과학기술원 (DGIST)) 김회준 (대구경북과학기술원 (DGIST))

이용수

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#압전 에너지하베스터(Piezoelectric energy harvester) #질화 알루미늄(Aluminum nitride) #외팔보(Cantilever)

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