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고동완 (한국해양대학교) 최준석 (한국해양대학교) 서준영 (한국해양대학교) 노재하 (한국해양대학교) 장지호 (한국해양대학교) 이상태 (한국해양대학교) 정정열 (선박해양플랜트연구소) 이문진 (선박해양플랜트연구소)
저널정보
한국물리학회 새물리 새물리 제70권 제1호
발행연도
2020.1
수록면
12 - 18 (7page)

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생분해성 플라스틱 기반의 위험유해물질 (hazardous and noxious substance, HNS) 센서 제작을 목표로 인듐 주석 산화물 (Indium Tin Oxide, ITO) 인쇄박막을 제작하고 박막의 구조적, 전기적 특성을 분석하였다. Differential scanning calorimetry (DSC) 법으로 poly lactic acid (PLA) 기판의 유리전이 온도를 조사하여 열처리 온도를 결정하였으며, 박막 제작 조건을 조사하고 표면 처리 공정을 도입하여 박막을 제작하였다. 제작한 박막의 물성은 상용 (Sputtered) ITO 박막과 비교 검토하였다. XRD 측정 결과를 이용하여 ITO 인쇄박막의 결정립 크기는 37.4 nm 로 파악되었으며, 홀 효과 측정 결과 300 K에서 캐리어 농도는 4.35 × 10<sup>18</sup> cm<sup>−3</sup>, 이동도는 1.43 cm<sup>2</sup>/Vs로 측정되었다. 또한 온도 변화 홀 효과 측정 결과로부터 인쇄한 ITO 박막은 결정립 경계 산란에 의해서 이동도가 제한되며 결정립경계의 대전 정도에 따라 박막의 비저항이 제한 받는 것을 알 수 있었다.

목차

I. 서론
II. 실험방법
III. 결과 및 고찰
IV. 결과
REFERENCES

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