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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학위논문
- 저자정보
- 지도교수
- 임실묵
- 발행연도
- 2013
- 저작권
- 한국산업기술대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.
이용수6
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Sol-Gel법을 적용한 AZO 투명전극
고품질의 투명전극으로 사용되는 ITO는 우수한 전기 · 광학적 특성으로 인해 PDP, LCD, OLED 디스플레이 산업부터 신재생 에너지인 태양전지까지 다양한 분야에서 널리 사용되고 있다. 하지만 ITO는 저온공정에서의 어려움과 ITO의 물질인 In의 수급이 불안정하여 원자재의 가격이 높고, 수소 플라즈마에 노출 시 열화로 인한 광학적 특성이 변화가 문제점으로 지적되고, 고가의 증착장비로 인한 생산 단가의 상승으로 대체 재료에 대한 필요성이 급격히 증대되고 있다. 이러한 문제점을 보완하기 위해서 새로운 재료로 본 연구에서는 Sol-Gel법을 이용하여 Al doped ZnO(ZnO:Al) 대체 투명전극을 제작한 결과 2×10-2[Ω·㎝]의 비저항과 평균 80% 이상의 광투과율을 나타내었다. 본 연구에서는 ZnO:Al 박막의 단점으로 지적되고 있는 전기적 안정성에 대한 연구에 대해서 가속열화실험을 통해 문제점을 보완할 수 있는 수소환원 열처리와 평형산소분압이 낮은 금속을 불순물로 첨가하여 특성을 향상시켰다. 그 결과 기존의 진공증착법을 이용한 XZO계와 ITO 박막이 가지고 있는 결과와 비슷한 전기적 특성 및 안정성을 확보 할 수 있었다.
ZnO:Al 박막이 투명전극으로서의 물리적 전기적 광학적 변화를 관찰하기 위하여 시간 경과에 따른 관찰을 진행하여, 표면의 물리적 변화와 전기적 변화의 상관관계를 규명하고자 노력하였으며, 가속열화실험을 통해 전기적 특성의 최대 유지시간을 확보하여 고 수명, 저 가격의 ZnO:Al 박막의 투명전극이 디스플레이 산업 및 태양전지 산업에 적용 가능함을 확인하였다.
고품질의 투명전극으로 사용되는 ITO는 우수한 전기 · 광학적 특성으로 인해 PDP, LCD, OLED 디스플레이 산업부터 신재생 에너지인 태양전지까지 다양한 분야에서 널리 사용되고 있다. 하지만 ITO는 저온공정에서의 어려움과 ITO의 물질인 In의 수급이 불안정하여 원자재의 가격이 높고, 수소 플라즈마에 노출 시 열화로 인한 광학적 특성이 변화가 문제점으로 지적되고, 고가의 증착장비로 인한 생산 단가의 상승으로 대체 재료에 대한 필요성이 급격히 증대되고 있다. 이러한 문제점을 보완하기 위해서 새로운 재료로 본 연구에서는 Sol-Gel법을 이용하여 Al doped ZnO(ZnO:Al) 대체 투명전극을 제작한 결과 2×10-2[Ω·㎝]의 비저항과 평균 80% 이상의 광투과율을 나타내었다. 본 연구에서는 ZnO:Al 박막의 단점으로 지적되고 있는 전기적 안정성에 대한 연구에 대해서 가속열화실험을 통해 문제점을 보완할 수 있는 수소환원 열처리와 평형산소분압이 낮은 금속을 불순물로 첨가하여 특성을 향상시켰다. 그 결과 기존의 진공증착법을 이용한 XZO계와 ITO 박막이 가지고 있는 결과와 비슷한 전기적 특성 및 안정성을 확보 할 수 있었다.
ZnO:Al 박막이 투명전극으로서의 물리적 전기적 광학적 변화를 관찰하기 위하여 시간 경과에 따른 관찰을 진행하여, 표면의 물리적 변화와 전기적 변화의 상관관계를 규명하고자 노력하였으며, 가속열화실험을 통해 전기적 특성의 최대 유지시간을 확보하여 고 수명, 저 가격의 ZnO:Al 박막의 투명전극이 디스플레이 산업 및 태양전지 산업에 적용 가능함을 확인하였다.
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