기상화학증기증착법에 의한 MoS2 합성 및 특성분석 :Synthesis and characterization of MoS2 by gas phase chemical vapor deposition

이진환

추천

검색

자료유형: 학위논문

저자정보: 이진환 (성균관대학교, 성균관대학교 일반대학원)

지도교수: 이창구

발행연도: 2013

저작권: 성균관대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.

이용수55

이 논문의 연구 히스토리 (2)

2013

기상화학증기증착법에 의한 MoS₂합성 및 특성 분석

이진환 , 이영빈 , 안종현 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2013.05 학술대회자료

기상화학증기증착법에 의한 MoS2 합성 및 특성분석

이진환 기계공 2013.01 학위논문

이 논문의 후속연구가 궁금하신가요?
연관 학술논문 또는 학술발표를 통해 보다 발전된 연구결과를 확인하실 수 있습니다.
이 논문의 연구 히스토리 확인하기

초록· 키워드

오류제보하기

반도체 특성을 갖는 2차원 구조물질인 이황화 몰리브데늄(MoS2) 박막을 기상화학증기증착법을 이용하여 합성하고 그 특성을 분석하였다. 합성의 원리는 금속 (Mo)을 모재위에 증착하여 고온에서 H2S 기체를 흘려주어 화학반응을 하는 것이다. 이러한 공정의 장점은 모재의 크기에 따라 MoS2 박막의 크기가 결정되기 때문에 원하는 크기의 박막을 합성할 수 있다. 또한, Mo 증착 두께에 따라 합성한 MoS2 박막의 두께를 제어할 수 있다. 따라서 밴드갭, 투명도 등을 선택적으로 합성하여 전자기기의 소재로 사용될 수 있다.
합성한 MoS2 박막을 평가하기 위해 Raman 분광법, 주사 전자 현미경 분석, 광루미네선스 분석, X-선 광전자 분광분석, 원자힘 현미경 분석, 고해상도 투사 전자 현미경 분석을 수행하였다. 또한 합성한 MoS2 박막을 이용하여 전계 효과 트랜지스터를 제작하고 전기적 특성을 분석하였다.
증착된 Mo의 두께에 따라 2, 4, 12층으로 합성된 MoS2 박막의 광학분광분석 결과는 자연에서 생성된 순도가 높은 물질과 거의 유사한 성질을 가짐을 보여주었다. 또한 이들 박막을 이용한 박막전계효과 트랜지스터는 기존에 합성된 박막 MoS2에 비해 비슷하거나 더 나은 반도체특성을 보여주었다. 본 합성법으로 합성된 MoS2는 향후 차세대TV, 대면적 디스플레이, 유연전자제품의 핵심적인 반도체 재료로 사용될 수 있을 것으로 기대된다.

#MoS2 #CVD #2차원 구조물질 #전이금속 칼코게나이드 #반도체 #트랜지스터

목 차
표 목차 Ⅳ
그림 목차 Ⅴ
제 1장 서론 1
제 1절 연구배경 1
제 2절 배경 이론 3
1. 화학적 성질 3
2. 기계적 성질 3
3. 전기적 성질 4
4. 라만 분광법 4
5. X-선 광전자 분광법 6
6. 자외선 가시광선 분광법 8
7. MoS2 박막 제조 방법 9
8. 고체 전구체를 이용한 MoS2 박막 합성 10
가. 합성 방법 10
나. 분석 11
다. 요약 11
9. 액체 전구체를 이용한 MoS2 박막 합성 12
가. 합성 방법 12
나. 분석 12
다. 요약 13
제 3절 연구목적 및 내용 31
1. 임의의 모재 상에 대면적의 균일한 MoS2 박막 합성 31
2. 모재 표면에 증착된 Mo 두께에 따른 층 수 제어 31
제 2장 대면적 MoS2 합성 및 공정 연구 33
제 1절 개요 33
제 2절 CVD를 이용한 대면적 MoS2 제조기술 35
1. 장비의 구조 35
2. 합성 방법 36
3. 전사 과정 37
4. 합성 결과 37
가. Raman 분광 분석 38
나. 주사 전자 현미경 분석 38
다. 광루미네선스 분석 39
라. X-선 광전자 분광 분석 39
마. 원자힘 현미경 분석 39
사. 고해상도 투사 전자현미경 분석 40
아. 전기적 특성 분석 40
제 3절 요약 56
제 3장 결론 및 연구 계획 57
제 1절 결론 57
제 2절 향후 연구 과제 59
1. 어닐링을 통한 품질 개선 59
2. 전기적 특성 측정 방법 개선 59
3. 합성 시간, 증착된 Mo에 따른 MoS2 층 수 제어 60
참고문헌 61
Abstract 66

최근 본 자료

전체보기

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	원문	원문 PDF 파일
AI 학습용 데이터	원문 + 메타 (기본/상세)	원문 PDF 파일 및 서지정보 CSV
대량 구매용 데이터	B2B 구독 방식	특정 자료 한정으로 원문 접근 권한 부여
대량 구매용 데이터	URL 전달 방식	바로 PDF 뷰어를 열람할 수 있는 URL 제공

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	기본 메타	발행기관명, 간행물명, 권호명, 권(vol), 호(issue), 통권, 발행연도, 발행월, 논문명, 저자명, 시작페이지, 종료페이지, 전체페이지, 상세페이지URL
상세 메타 데이터	발행기관 메타	발행기관 이명, 영문명, 창립연도, 홈페이지URL, 발행기관 소개
	간행물 메타	부제목, 간행물 유형, ISSN, ISBN, 최초발행연도, 폐간연도, 간행빈도, 발행주기, 등재사항, 이용수, 피인용수, 권호수, 논문수, 표지이미지
	논문 메타	작성 언어, 부제목, 대등제목, 목차, 키워드, 초록, 이미지, 참고문헌, 이용수, 피인용수, 논문활용도, DBpia통합주제분류, KDC분류, DDC분류, 한국연구재단분류, UCI, DOI
	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

구분	그룹	데이터 항목
※ 결합형/맞춤형 메타 데이터는 신청 내용에 따라 다양하게 제공 가능
이용순위 정보	주제분야별 많이 이용된 논문	“인문학”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	이용기관별 많이 이용된 논문	“중고등학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	세부기관별 많이 이용된 논문	“서울대학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	키워드별 많이 이용된 논문	“Chat GPT”에서 많이 이용된 논문 TOP100
키워드 정보	많이 이용된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 이용된 키워드
	많이 발행된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 발행된 키워드
	많이 검색된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 검색된 키워드
	연구 트렌드 키워드	특정 키워드 연관 연구동향 분석 데이터 키워드

논문 기본 정보

이 논문의 연구 히스토리 (2)

초록· 키워드

목차

최근 본 자료

댓글(0)