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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학위논문
- 저자정보
- 지도교수
- 정진욱
- 발행연도
- 2013
- 저작권
- 한양대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.
이용수2
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음이온이 발생되는 유도 결합 산소 플라즈마에서 부유형 탐침을 이용하여 음이온 밀도의 공간분포 측정에 관하여 연구하였다. 플라즈마의 준중성 조건을 적용하여 양이온과 전자 공간 분포의 측정으로 음이온 공간 분포를 유추할 수 있었는데, 이는 부유형 탐침에 고조파 분석법을 수정 적용하여 얻을 수 있었다. 이렇게 적용한 결과, 선행 연구에서 예상한 이론적인 경향과 시뮬레이션의 결과와 유사한 경향을 확인할 수 있었다. 이러한 방법은 탐침의 오염, 접지의 유무, 분석 장비의 이동성 및 경제성 등의 이유로 실제 산업 공정에 적용이 용이하지 않았던 한계를 넘을 수 있다는 점에 의미가 있다.
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