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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학위논문
- 저자정보
- 지도교수
- 조광섭
- 발행연도
- 2013
- 저작권
- 광운대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.
이용수10
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대기압 플라즈마 제트 장치의 유량 변화에 대한 플라즈마 방전 특성을 유체역학적으로 해석하였다. 유리관에 주입되는 기체의 유량 변화에 대한 레이놀즈 수(Re)에 의한 기체 흐름의 형태 변화와 베르누이 정리에 의한 압력 변화가 플라즈마 발생에 영향을 준다. 일반 유체실험에서 알려진 레이놀즈 수 Re<2000에서의 층류와 Re>4000에서의 난류의 영향으로 유리관 내부에 발생하는 플라즈마의 길이가 변화한다. 층류에서 유량의 증가로 플라즈마 칼럼의 길이가 증가한다. 층류와 난류의 전환 영역에서 플라즈마의 길이는 줄어든다. 난류의 영역에서는 방전 경로의 혼란으로 플라즈마의 길이가 매우 짧고 급기야 방전이 정지된다. 층류에서 유량과 유속의 증가는 베르누이 정리에 의하여 유리관 내의 압력이 낮아지면, 파센 법칙에 의하여 방전 전압이 낮아진다. 따라서 주입 유량이 증가하면, 동일한 구동 전압에서 유리관에 발생하는 플라즈마 칼럼의 길이는 길어진다. 층류의 방전은 유리관 밖에서도 층류의 흐름이 일정 길이로 유지되므로 시료 표면에 조사되는 플라즈마 빔의 직경은 유리관의 직경 이하로 유지된다.
목차
제 1장 서 론 1제 2장 플라즈마 (Plasma) 32.1플라즈마의 기초 32.1.1플라즈마의 정의 32.1.2플라즈마 내 전자 및 이온온도 42.1.3플라즈마 내 입자의 평균속도 62.1.4플라즈마 전위 62.2기체의 성질 72.2.1기체의 상태 82.2.2기체의 법칙 92.3실제 유체의 흐름 102.3.1레이놀즈 수 102.4대기압 플라즈마 응용 132.4.1DC & Low frequencydischarge 142.4.2RF frequencydischarge 142.4.3Microwavedischarge 14제 3장 대기압 플라즈마 제트의 기체유량 및 전극 관경에 따른 방전 특성 183.1유량 변화에 따른 플라즈마 제트 183.1.1실험 방법 183.1.2레이놀즈 수와 플라즈마 발생 193.2주입 기체 및 유량 변화에 대한 플라즈마 제트 243.2.1실험 방법 243.2.2레이놀즈 수와 플라즈마 발생 263.3전극 관경 변화에 대한 플라즈마 제트 363.3.1실험 방법 363.3.2관경 변화에 따른 레이놀즈 수와 플라즈마 발생 373.4유량 변화와 방전전압 433.4.1실험 방법 433.4.2유량 변화에 따른 플라즈마 방전전압 443.5전극 관경 및 유량 변화와 방전 전압 483.5.1실험 방법 483.5.2관경 변화에 따른 플라즈마 방전전압 493.6유량 변화와 플라즈마 제트 조사 직경 523.6.1실험 방법 523.6.2유량에 따른 플라즈마 제트 조사 직경 53제 4장 결론 56참고 문헌 58
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