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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학위논문
- 저자정보
- 지도교수
- 김광호
- 발행연도
- 2014
- 저작권
- 청주대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.
이용수2
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본 연구는 전극을 형성하는데 있어서 진공증착법보다 공정이 간편하고 저가의 대량생산에 용이한 장점을 가진 스크린 인쇄법을 이용하여 MIS 태양전지를 제작하여 특성을 평가하였다. p-Si(0.5-2 Ω·㎝) 기판 위에 기계적 특성이 뛰어나고 가시광선 영역에서 광학적 특성이 우수한 산화알루미늄(Al2O3, 1㎚)박막을 RPALD(Remote Plasma Atomic Layer Deposition)을 이용하여 증착하고 전면 전극으로 Ag, 후면 전극 Al 페이스트를 스크린 인쇄법으로 인쇄한 뒤, RTA(Rapid Thermal Annealing, 급속열처리)장치로 열처리 하여 MIS 커패시터를 제작하였다. MIS 커패시터의 전기적 특성은 pA meter(HP 4140B)와 LCR meter(HP 4284A)를 이용하여 C-V특성과 누설전류 특성을 평가하였다. 커패시터의 전기적 특성 평가 후 스크린 인쇄법을 이용하여 MIS 태양전지를 제작하여 솔라시뮬레이터(Solar Simulator)로 STC(Standard Test Condition) 100mW/cm2, 25℃ 상태에서 태양전지의 전기적 특성을 평가하고, 양자효율 측정 시스템(Quantum Efficiency measurement system)을 이용하여 파장범위(350~1100㎚)에 따른 스펙트럼 응답 특성을 평가하였다.
목차
목 차그림 목차 1표 목차 2제 1 장 서 론제 1 절 태양광에너지와 이를 이용한 소자 11. 태양광에너지 12. 태양전지의 종류 4가. 결정질 실리콘 태양전지 5나. 박막형 태양전지 6다. 유기물?염료감응 태양전지 73. MIS 태양전지 8제 2 절 MIS 태양전지에서 절연막의 중요성 9제 3 절 태양전지의 스크린 인쇄법 도입 배경 11제 4 절 본 연구의 목적 141. MIS 태양전지의 스크린 인쇄법 도입 15제 2 장 RPALD를 이용한 MIS(Ag/Al2O3/Si)구조 제작 및 특성제 1 절 RPALD를 이용한 MIS 구조 제작 151. RPALD를 이용한 절연막 Al2O3 박막 제작 15가. 공정온도에 따른 두께 의존성 18나. 반응소스 주입시간에 따른 두께 의존성 20다. Cycle 의존성에 다른 두께 의존성 23제 2절 Al2O3 박막의 구조적 특성 261. X선 광전자 분광법 (XPS) 분석 262. 투과전자현미경 (TEM) 분석 29제 3절 MIS 구조 커패시터의 전기적 특성 311. 전압-전류 (I-V) 특성 312. 용량-전압 (C-V) 특성 34제 3 장 스크린 인쇄법을 이용한 MIS구조 태양전지 제작 및 특성제 1 절 스크린 인쇄법을 이용한 전/후면 전극 제작 및 특성 381. 공정 변수에 따른 두께 의존성 382. 열처리 온도 및 시간에 따른 전기적 특성 423. 전면(Ag)/후면(Al)전극 Paste의 구조적 특성 46가. 주사전자현미경 (SEM) 분석 결과 46제 2 절 스크린 인쇄법을 이용한 MIS 커패시터의 전기적 특성 491. 전류-전압 (I-V) 특성 492. 용량-전압 (C-V) 특성 53제 3 절 스크린 인쇄법을 이용한 MIS 구조 태양전지 특성평가 561. 반사방지막 SiNX 유/무에 따른 MIS 구조 태양전지 특성평가 57가. RF 마그네트론 스퍼터를 이용한 반사방지막 SiNX 제작 571) N2 가스비율에 따른 의존성 582) H2 가스첨가에 따른 특성 60나. 인공태양광 조사 시스템(Solar simulator) 62다. 양자효율 측정 시스템(QE system) 66제 4 장 결론 및 남겨진 과제제 1 절 결 론 68제 2 절 남겨진 과제 70참고문헌 71학회·학술대회 목록 74ABSTRACT 76
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