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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학위논문
- 저자정보
- 지도교수
- 김경범
- 발행연도
- 2014
- 저작권
- 한국교통대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.
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본 논문에서는 태양전지 실리콘 웨이퍼의 핸들링 과정에서 발생할 수 있는 마이크로 결함의 특징을 영상 처리를 통해 얻은 영상을 통해 추출하여 결함의 형상 및 특징값에 관한 상관관계를 분석하였다.
우선, 결함 영상의 획득을 위하여 근적외선의 반사 및 투과 특성 중 결함의 정보 분석에 유리한 특성을 선정하였다. 이렇게 선정한 특성을 이용해 가공한 마이크로 결함을 이용하여 구성한 근적외선 광학계의 최적 조건을 도출하였다. 다음으로 영상의 배경 정규화와 결함 정보와의 대비 증폭을 위해 제안된 비등방성 확산 필터를 적용하였다. 또한, 비등방성 확산 필터의 최적 변수 실험을 통해 최적의 변수를 설정하였다. 이렇게 최종적으로 얻어진 결함 영상의 특징값인 외곽선, 길이, 면적, 경계선의 정보를 추출하여 결함의 특징에 대한 정보 분석을 시행하였다. 이후 분석한 내용 중 가장 결함에 따른 정보가 확실한 특징 정보를 이용하여 상관관계를 추정 한 후 임의적으로 선정한 결함을 이용하여 앞서 분석한 상관관계가 연관성이 있음을 확인하였다.
우선, 결함 영상의 획득을 위하여 근적외선의 반사 및 투과 특성 중 결함의 정보 분석에 유리한 특성을 선정하였다. 이렇게 선정한 특성을 이용해 가공한 마이크로 결함을 이용하여 구성한 근적외선 광학계의 최적 조건을 도출하였다. 다음으로 영상의 배경 정규화와 결함 정보와의 대비 증폭을 위해 제안된 비등방성 확산 필터를 적용하였다. 또한, 비등방성 확산 필터의 최적 변수 실험을 통해 최적의 변수를 설정하였다. 이렇게 최종적으로 얻어진 결함 영상의 특징값인 외곽선, 길이, 면적, 경계선의 정보를 추출하여 결함의 특징에 대한 정보 분석을 시행하였다. 이후 분석한 내용 중 가장 결함에 따른 정보가 확실한 특징 정보를 이용하여 상관관계를 추정 한 후 임의적으로 선정한 결함을 이용하여 앞서 분석한 상관관계가 연관성이 있음을 확인하였다.
목차
목 차요 약 ⅰ목 차 ⅱ표 목 차 ⅴ그 림 목 차 ⅵⅠ. 서 론 11. 연구 배경 및 필요성 12. 연구 내용 3Ⅱ. 태양전지 실리콘 웨이퍼의 결함 영상 획득을 위한 근적외선 광학계 구성 51. 근적외선 52. 실리콘 웨이퍼에 대한 근적외선 상관관계 73. 적외선을 이용한 검사방법 124. 근적외선 기반 특성 실험 141) 근적외선 광학계 구성 142) 실리콘 웨이퍼에 대한 근적외선 반사 및 투과 특성 비교 16Ⅲ. 근적외선 영상 기반 마이크로 결함의 상관관계 분석 211. 마이크로 결함의 영상 최적화 211) 비등방성 확산필터 26(1) 기존의 비등방성 확산 필터 26(2) 대비 증가를 위한 비등방성 확산 필터 27(3) 비등방성 확산 필터 선정 실험 282) 비등방성 확산 필터의 최적조건 선정 323) 성능 평가 및 검토 352. 마이크로 결함 특징 정보의 상관관계 분석 371) 마이크로 결함 외곽선 특징 정보 분석 372) 마이크로 결함 길이 특징 정보 분석 403) 마이크로 결함 면적 특징 정보 분석 434) 마이크로 결함 경계선 특징 정보 분석 465) Gray Scale Profile기반 결함 형상 정보 분석 49(1) X/Y Profile을 정보 추출 결과 516) 마이크로 결함의 특징 분석 정보 성능 평가 53(1) 마이크로 결함 길이 상관관계 분석 53(2) 마이크로 결함 경계선 상관관계 분석 55Ⅳ. 결론 57참 고 문 헌 59Abstract 61
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