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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학위논문
- 저자정보
- 지도교수
- 신관우.
- 발행연도
- 2015
- 저작권
- 서강대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.
이용수0
이 논문의 연구 히스토리 (4)
2015
Electrical properties of carbon thin films prepared from poly(vinyl alcohol) by proton irradiation and carbonization
정진묵
,
김영주
,
정영규
외 5명
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2015.10
학술대회자료
Preparation and characterization of graphitic carbon patterns from pitch by proton irradiation and carbonization
정진묵
,
김영주
,
정영규
외 4명
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2015.10
학술대회자료
Facile fabrication of pitch-derived graphitic micropatterns via ion beam micropatterning and pyrolysis
정진묵
화학과
2015.01
학위논문
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본 연구에서는, 단순하고 효율적인 이온빔 미세패터닝 및 열분해를 통해 값싼 피치 박막으로부터 전기 전도성을 갖는 흑연성 미세패턴(ECGM) 형성에 관한 연구를 수행하였다. 먼저 피치 전구체 박막 형성을 위해 4 wt%의 피치 용액을 세척된SiO2가 증착된 실리콘 웨이퍼 위에 회전도포 하였다. 이후, 다양한 조건하에서 이온빔리소그래피를 통해 형성된 피치 박막으로부터 피치 미세패턴을 형성하였다. 최종적으로, 형성된 피치 미세패턴을 다양한 열처리 조건하에서 탄화하여 전기 전도성 미세패턴을 형성하였다. 두께 측정 및 FE-SEM 분석 결과, 피치 미세패턴 형성을 위한 최적 이온빔 조사량은 3 x 1015 ions/cm2 임을 확인하였다. 열처리를 통해서 형성된 흑연성 미세패턴의 특성 분석 결과, 최적화된 조건 하에서 형성된 피치 미세패턴은 상대적으로 높은 온도에서 효과적으로 흑연화가 잘 일어남을 확인하였다. 또한, 형성된 흑연성 미세패턴의 전류-전압 특성 측정 결과로부터 1000 oC의 상대적으로 높은 열처리를 통해 형성된 흑연성 탄소 미세패턴이 보다 낮은 전기저항성을 나타냄을 확인하였다.
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