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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학위논문
- 저자정보
- 지도교수
- 곽문규
- 발행연도
- 2015
- 저작권
- 경북대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.
이용수0
이 논문의 연구 히스토리 (5)
2016
2015
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Recently, demand for micro stencil is increasing in several areas such as electronics, bionics and so on. Typically, micro stencil can be made by bulk-micromachining or unconventional molding method. Although both fabrication processes express good quality micro stencil, but they have some limitations for continuous production. The bulk-micromachining, which includes photolithography and etching process, needs high cost and time for production and its application area is limited due to the rigidity of substrate. Likewise, unconventional molding method takes relatively long time for fabrication and production yield is not suitable for continuous production. To compensate these limitations, in our experiment, we used dewetting assisted UV imprinting lithography to produce micro stencil stably in short production time. Also, we tried to apply this technique to roll to roll fabrication equipment for the continuous fabrication of micro stencil. In addition, we confirmed suitable process parameters, production speed, pressure and geometry to realize quality results on continuous micro stencil fabrication.
목차
1. 서론 12. 실험재료 및 방법 42.1. UV 임프린트용 소프트 몰드 제작 42.1.1. 포토리소그래피를 사용한 마스터 몰드 제작 52.1.2. 소프트리소그래피를 사용한 마이크로 기둥 몰드 제작 72.2. 비젖음성을 이용한 UV 임프린트리소그래피 92.3. 롤투롤 장치 제작 142.4. 마이크로 스텐실 표면 및 단면 관찰 173. 실험결과 및 고찰 183.1. 마이크로 기둥 크기에 따른 마이크로 스텐실 제작 결과 분석 183.2. 공정 속도 제어에 따른 공정 결과 분석 233.3. 공정 압력에 따른 마이크로 스텐실 제작 결과 분석 254. 결론 28참고문헌 30영문초록 33
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