자기연마가공을 이용한 마이크로 복합패턴의 형상정밀도 향상 :

진동현

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자료유형: 학위논문

저자정보: 진동현 (부경대학교, 부경대학교 대학원)

지도교수: 곽재섭

발행연도: 2016

저작권: 부경대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.

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2016

자기연마가공을 이용한 마이크로 복합패턴의 형상정밀도 향상

진동현 2016.01 학위논문

2015

자기연마가공을 통한 복합 미세패턴의 형상 정밀도 향상

진동현 , 이성호 , 유만희 외 3명 대한기계학회 춘추학술대회 2015.11 학술대회자료

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본 논문에서는 turning machine을 이용하여 미세 복합패턴을 제작하고, 보다 효율적인 디버링 방법으로 자기연마 디버링을 제시하였다. 자기연마 디버링을 활용하여 미세 복합패턴의 형상정밀도를 향상시키고자 하였다. 또한, 반응표면기법을 이용하여 패턴의 높이에 대한 예측식을 도출하고, 공정변수의 최적화를 하고자한다.

목 차
Nomenclature
ⅲ
List of tables
ⅳ
List of figures
ⅴ
List of photographs
ⅵ
1. 서 론
1
1.1 연구배경 및 필요성
1
1.2 국내외 연구동향
3
2. 이론적 배경
5
2.1 미세 복합패턴
5
2.2 자기연마 디버링
7
2.3 Box-Behnken 계획법
10
3. 미세 복합패턴의 기본 특성 평가
11
3.1 실험장치 및 방법
11
3.2 미세 복합패턴 및 버의 정의
16
3.2.1 미세 복합패턴의 형상
16
3.2.2 버의 생성 원리
23
3.3 미세 복합패턴의 자기연마 디버링 조건선정
25
4. 실험 결과 및 고찰
27
4.1 미세 복합패턴의 가공특성평가
27
4.2 정밀도 향상을 위한 최적화
36
4.3 검증 실험 및 고찰
46
5. 결 론
51
REFERENCES
52
ABSTRACT
58

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