지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학위논문
- 저자정보
- 지도교수
- 권오명
- 발행연도
- 2016
- 저작권
- 고려대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.
이용수0
이 논문의 연구 히스토리 (2)
- 이 논문의 후속연구가 궁금하신가요?
- 연관 학술논문 또는 학술발표를 통해 보다 발전된 연구결과를 확인하실 수 있습니다.
- 이 논문의 연구 히스토리 확인하기
초록· 키워드
오류제보하기
With the vigorous development of new nano-devices and nano-materials, the improvement in the quantitation and the resolution of the measurement of nano-scale energy transport/conversion phenomena has become increasingly important. Although several new advanced methods of scanning thermal microscopy (SThM) have been developed to meet these needs, they require the drastic enhancement of SThM probe performance. In this study, taking advantage of the characteristics of micro-mechanical structures that their mechanical stability is maintained even when the thickness of the film composing the structures becomes extremely thin, we develop a new design of SThM probe whose tip is made of ultra-thin silicon oxide film (~100 nm), fabricate the SThM probes, and demonstrate that the tip radius, thermal time constant, and thermal sensitivity of the probe are all improved experimentally. We expect that the development of new high-performance SThM probes along with the advanced measurement methods will enable the measurement of temperature and thermal properties with higher spatial resolution and quantitative accuracy, ultimately making essential contributions to diverse areas of science and engineering related to the nanoscale energy transport/conversion phenomena.
목차
1.서론 71.1 연구 배경 및 동향 71.2 연구 목적 및 내용 82. Ultra Thin Oxide Tip (UTOT) 탐침 설계 및 제작 92.1 엄밀한 정량적 계측이론에 근거한 UTOT탐침 열적설계 92.2 UTOT탐침의 제작 133. UTOT 탐침의 성능 평가 183.1 탐침의 열시상수 평가 183.2 탐침의 열적감도 평가 224. 결론 34
최근 본 자료
댓글(0)
0